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长度计量技术领域。$本发明方法采用二支或二支以上光束，利用不同行进方向光束的干涉光极大值间距对应于不同伸缩位移量值的关系，求出待测量值。$本发明装置采用普通非稳频激光器和简单法布里·白洛干涉仪，通过干涉仪、分束镜和反射镜的放置，以及测出干涉光极大值对应的电压陶瓷电压值，实现上述方法。$本发明可使量程达５０λ以上，具备埃量级的分辨力。
. 主权项 .
. 一种用法布里·白洛干涉仪测量微小位移或伸缩的方法，其特征在于采用二支或二支以上具有相同波长的光束，至少有一支光束进入法布里·白洛干涉仪时的行进方向与伸缩位移方向或干涉仪的法线方向有夹角，利用不同行进方向光束的依序相接的干涉光极大值对应于不同的伸缩位移量值的关系，求出待测量的大小。
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中国科技资讯网
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