一种用介质波导测量半导体材料少子寿命的装置<%=id%>

电阻率的装置.该装置的测试结果与常规的有接触方法一致、操作简便,能够测量不同厚度片状样品的少子寿命以及同一样品上不同部位少子寿命的差异.由于是无接触测试,对于抛光片、离子注入片以及经过各种化学处理的半导体薄片尤为适宜,能够做到无损坏、无沾污.在集成电路、半导体器件的生产过程中可用作材料检验和工艺监控的重要手段.
. 主权项　.
. 一种用介质波导测量半导体材料少子寿命的装置，由微波源、光源、测试头子及微波检测器四部分组成，本发明的特征在于：该装置的测试头子由以下三个部件组成：　　ａ．上部件［１］，其水平方向上的Ａ端是一个呈尖劈形的介质波导——波导过渡，中间为矩形截面的介质波导，在Ｂ端有一个直角弯头，在弯角的垂直部分开有一个上大下小的穿通圆孔［２］，该垂直部分的底端Ｃ为带圆孔的矩形测量面；　　ｂ．下部件［４］，其Ｄ端与上部件［１］的Ｃ端截面大小相同、位置对准，中间为同样矩形截面的介质波导，下端Ｅ为一个呈尖劈形的波导———介质波导过渡；　　ｃ．放置样品介质测试平台［３］，其位于上部件［１］的Ｃ端与下部件［４］的Ｄ端之间；测试平台［３］的下方开有一个大于下部件［４］中介质波导矩形截面的圆型或矩形凹穴，上方为一放置待测样品［５］的平面。
.
.
中国科技资讯网
.

设为首页 | 加入收藏 | 广告服务 | 友情链接 | 版权申明