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，该装置根据上述差压检测装置测出的炉芯管内和炉体内气体压的差压来调节炉芯管中的气压，使炉芯管中的气压和炉体中的气压之间的差压保持在允许范围之内．因此，该装置能防止炉芯管变形．
[权项] 一种热处理装置，它包括如下部分：收容被处理物的炉芯管，包围该炉芯管的加热炉，向上述炉芯管内供应气体的炉芯管气体供应装置，向上述加热炉的炉体内供应气体的炉体气体供应装置，检测上述炉芯管内与上述炉体内的气体压的差压的差压检测装置，根据来自上述差压检测装置的差压信号进行调节，使上述炉芯管内的气体压与上述炉体内的气体压的差压处于允许范围之内的差压调节装置。
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