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国家日期：. 2006.02.24
专利 代理 机构：.. 中国专利代理(香港)有限公司. 代.. 理.. 人：. 李亚非;陈景峻
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. 摘要 .
.光学图像是由多个子照射在辐射敏感层(5)中形成的，在每个子照射中，光阀阵列(21-25)和相应的会聚元件(43)的阵列(40)用于根据子图像图案在抗蚀剂层(5)中形成光点图案。在子照射之间，相对于该阵列(21-25、40)移动抗蚀剂层(5)。透镜阵列(40)可相对于扫描区域倾斜，以使得每个抗蚀剂层区域由多个光点扫描。此外，在垂直于扫描方向的方向上也出现一些光点重叠。通过有选择地降低该冗余光点中的一个或多个光点的强度或者切断所述冗余光点中的一个或多个光点以便改变设备特征的边缘的位置，即“细调”该位置，该光点冗余得到了利用。
. 主权项 .
.1、一种在辐射敏感层(5)中形成光学图像的方法，该方法包括下列步骤： -提供辐射源(17)； -提供辐射敏感层(5)； -将多个单独受控的光阀(21-25)放置在该辐射源(17)和该辐射敏感层(5)之间； -将多个辐射会聚元件(43)放置在所述多个光阀(21-25)和该辐射敏感层(5)之间，以使每个会聚元件(43)对应于一个不同的光阀(21-25)，并用于将来自对应光阀的辐射会聚在辐射敏感层(5)的光点区域中； -通过一方面扫描所述层(5)，以及另一方面彼此相对地扫描相关的光阀/会聚元件对，并根据通过该光阀(21-25)所要写入的图像部分来将每个光阀(21-25)在开和关状态之间切换，从而同时在该辐射敏感层区域中写入图像部分，其中通过多个由相应的光阀/会聚元件对所产生的光点来扫描在该辐射敏感层(5)中的至少一些光点区域；该方法的特征在于下述步骤： -有选择地降低在所述辐射敏感层(5)中扫描相同光点区域的所述多个光点的一个或多个光点的强度，或者切断所述多个光点的一个或多个光点，以便调整所述光学图像的边缘部分在所述辐射敏感层 (5)中的位置。.
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中国科技资讯网
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