改进的以托盘给样的扫描声学显微镜系统以及主要用于在检查期间使部件固定的方法<%=id%>

国. 际. 公. 布：. 2004-10-28 WO2004/092779 英进入国家日期：. 2005.10.10
专利代理机构：.. 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司. 代.. 理.. 人：. 余朦;葛强
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. 摘要　.
.一种用于以托盘给样的扫描声学显微镜的改进的扫描台和方法，具有真空系统，所述真空系统在由超声波束发生器进行声穿透的过程中，至少辅助将松散保持部件固定在托盘中。
. 主权项　.
.1.一种在以托盘给样的扫描声学显微镜中，用于对松散保持部件的穿孔托盘进行检查的改进托盘扫描台，包括：托盘输送装置；耦合流体分配装置；超声波束发生器，配置为在对所述托盘进行扫描的过程中，引导超声波束通过所述耦合流体而到达所述托盘上，所述被分配的耦合流体在扫描过程中不合乎需要地趋向于扰动所述部件；以及真空系统，配置为在托盘扫描过程中，在所述托盘的底部上产生真空。.
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