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    多层光谱纯滤光片与光刻设备、装置制造方法以及装置<%=id%>
    . 公. 布：.. 进入国家日期：..
    专利 代理 机构：.. 中国专利代理(香港)有限公司. 代.. 理.. 人：. 杨 凯;张志醒
    .
    . 摘要　.
    .多层的光谱纯滤光片提高了极远紫外(EUV)辐射束的光谱纯度并且还收集由辐射源发射的碎片。
    . 主权项 　.
    .
    .
         

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