含氟共聚物及其制造方法、以及含有该共聚物的抗蚀组合物<%=id%>

子;江田昌隆;横小路修. 国. 际申请：. 2004-08-19 PCT/JP2004/011937
国. 际. 公. 布：. 2005-03-03 WO2005/019284 日进入国家日期：. 2006.02.10
专利代理机构：.. 上海专利商标事务所有限公司. 代.. 理.. 人：. 徐迅
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. 摘要　.
.本发明提供具有官能团、在宽广的波长区域中具有高透明性的含氟聚合物和由该含氟聚合物构成的抗蚀用组合物。具有来源于下述式(1)所表示的含氟二烯环化聚合的单体单元的单元以及来源于其它的环化聚合的单体单元的单元或来源于丙烯酸类单体聚合的单体单元的单元的含氟共聚体，以及将它们作为基本聚合物的抗蚀组合物。CF2＝CFCH2CH(CH2C(CF3)2(OR1)CH2CH＝CH2(1)，式中，R1为氢原子、可以具有醚性氧原子的碳原子数小于等于20的烷基、碳原子数小于等于6 的烷氧羰基或者CH2R2，R2为碳原子数小于等于6的烷氧羰基。
. 主权项　.
.1.含氟共聚物(A1)，其特征在于，所述含氟共聚物(A1)具有两种单元，所述单元分别来源于通过环化聚合下述式(1)所表示的含氟二烯而生成的单体单元和通过环化聚合下述式(2)所表示的含有官能团的含氟二烯而生成的单体单元，其中，式(2)所表示的含氟二烯不包括式(1)所表示的含氟二烯； CF2＝CFCH2CH(CH2C(CF3)2(OR1))CH2CH＝CH2(1) 式中，R1为氢原子、可具有醚性氧原子的碳原子数小于等于20的烷基、碳原子数小于等于15的烷氧羰基或CH2R2，R2为碳原子数小于等于15的烷氧羰基， R1的烷基、烷氧羰基和R2的一部分或者全部的氢原子可以被氟原子取代； CF2＝CR3-Q-CR4＝CH2(2) 式中，R3、R4分别独立地表示氢原子、氟原子、碳原子数小于等于3的烷基、碳原子数小于等于3的氟代烷基或环状脂肪烃基，Q表示具有官能团或者含官能团的侧链基团的亚烷基、氧化烯基、氟代亚烷基或氟代氧化烯基。.
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