静电驱动器、液滴喷头、液滴喷出装置以及静电设备<%=id%>

：.. 精工爱普生株式会社.
地......... 址：. 日本东京
发明 (设计)人：. 松下友纪;松野靖史;藤井正宽. 国. 际申请：..
国. 际. 公. 布：.. 进入国家日期：..
专利代理机构：.. 中科专利商标代理有限责任公司. 代.. 理.. 人：. 李香兰
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. 摘要　.
.一种可以实现设备的小型化，并可以有效地防止水分等进入到间隙内的静电驱动器等。其具备具有作为固定电极的单独电极(12)的电极基板 (10)、和具有与单独电极(12)隔开距离相对并利用在与单独电极(12) 之间产生的静电力动作的作为可动电极的振动板(22)的腔室基板(20)，在电极基板(10)或腔室基板(20)的一方上将多层由遮断在单独电极(12) 和振动板(22)之间形成的空间和外界气体的密封材(25)构成的密封层 (TEOS层25a、水分透过防止层25b)层叠在一起，形成密封部(26a)。
. 主权项　.
.1.一种静电驱动器，其特征在于，具备：第1基板，具有固定电极，第2基板，具有可动电极，该可动电极与上述固定电极隔开距离地相对，并利用在与上述固定电极之间产生的静电力而动作；在上述第1基板或上述第2基板中的一方上形成有密封部，该密封部层叠有多层密封层，该密封层由将在上述固定电极和上述可动电极之间形成的空间与外界气体遮断的密封材构成。.
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中国科技资讯网
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