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专利 代理 机构：.. 上海专利商标事务所有限公司. 代.. 理.. 人：. 陈文青
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. 摘要 .
.一种用来抛光半导体基板的水性抛光组合物，它包含：0.001-2重量％聚乙烯醇共聚物和0.05-50重量％二氧化硅磨粒；所述聚乙烯醇共聚物具有第一组分、第二组分，其重均分子量为1，000-1,000,000克/摩尔，且第一组分为50-95摩尔％乙烯醇，第二组分的疏水性高于乙烯醇；所述组合物的pH为8-12。
. 主权项 .
.1.一种用来抛光半导体基板的水性抛光组合物，它包含： 0.001-2重量％聚乙烯醇共聚物和0.05-50重量％二氧化硅磨粒；所述聚乙烯醇共聚物具有第一组分、第二组分，其重均分子量为1,000-1,000,000克/摩尔，且第一组分为50-95摩尔％乙烯醇，第二组分的疏水性高于乙烯醇；所述组合物的pH为8-12。.
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