将吸气器固定于微机电系统装置外壳内的方法和设备<%=id%>

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国. 际. 公. 布：. 2004-10-07 WO2004/086499 英进入国家日期：. 2005.11.14
专利代理机构：.. 中国专利代理(香港)有限公司. 代.. 理.. 人：. 胡强
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. 摘要　.
.本发明介绍了一种可减少微机电系统(MEMS)装置(200)内产生松散吸气材料微粒的方法。这种MEMS装置包括安置在基本密封的空腔(224)内的微电机件(108)，所述空腔由外壳(102)和所述外壳的盖子形成。空腔可容纳安装在吸气器基片(222)上的吸气器(220)，吸气器基片固定在盖子上。这种方法包括提供位于部分盖子和部分吸气器基片之间的区域(212)，将吸气器布置在该区域，然后将吸气器基片固定到盖子上。
. 主权项　.
.1.一种减少微机电系统(MEMS)装置(200)内产生松散吸气材料微粒的方法，所述装置包括安置在基本密封的空腔(224)内的微电机件(108)，所述空腔由外壳(102)和所述外壳的盖子(202) 形成，所述空腔容纳安装在吸气器基片(222)上的吸气器(220)，所述吸气器基片固定到所述盖子上，所述方法包括以下步骤：提供位于部分所述盖子和部分所述吸气器基片之间的区域 (212)；将所述吸气器布置在所述区域；和将所述吸气器基片固定到所述盖子上。
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