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颁 证 日：
优 先 权：
申请(专利权)人：
康宁股份有限公司
地 址：
美国纽约州
发 明 (设计)人：
A·K·加德卡瑞;K·P·加德卡瑞
国 际 申 请：
CT/US00/18860 2000.7.11
国 际 公 布：
WO01/14916 英 2001.3.1
进入国家日期：
2002.02.22
专利 代理 机构：
上海专利商标事务所
代 理 人：
钱慰民
摘要
通过将材料层沉积在负膨胀基底(100)上，形成处于与基底(100)之间机械张力中的波导(120)，而制造集成平面布拉格光栅。然后在波导(100)中形成布拉格光栅(200)。随着波导(120)温度的增加，波导(120)和基底(100)之间的机械张力减小，使得布拉格光栅(200)的峰值反射波长几乎保持为常量。
主权项
权利要求书
1.一种温度变化的环境中所用的集成布拉格光栅的形成方法，其特征在
于，所述方法包括以下步骤，这些步骤可以顺序或非顺序执行：
提供负膨胀基底；
通过在所述负膨胀基底上交替沉积材料并减小所述材料中的应力，而在所
述负膨胀基底上形成波导；和
在所述波导中形成布拉格光栅，所述布拉格光栅具有峰值反射波长，其中，
所述波导和所述负膨胀基底具有膨胀失配系数，选择该系数以大体补偿由温度
变化引起的所述峰值反射波长的移动。
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