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制备Ⅲ族氮化物半导体的方法及Ⅲ族氮化物半导体器件<%=id%> |
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3;H01L33/00
颁 证 日:
优 先 权:
1999.12.24 JP 367614/1999
申请(专利权)人:
丰田合成株式会社
地 址:
日本爱知县
发 明 (设计)人:
小池正好;手钱雄太;平松敏夫
国 际 申 请:
CT/JP00/09120 2000.12.21
国 际 公 布:
WO01/48798 日 2001.7.5
进入国家日期:
2002.06.24
专利 代理 机构:
北京市柳沈律师事务所
代 理 人:
巫肖南;封新琴
摘要
蚀刻第一III族氮化物半导体层31,由此形成点状、条纹状或栅格状等岛状结构,以便提供沟槽/柱子。这样,第二III族氮化物层32可以从用作外延生长晶核的柱子的顶面及沟槽的侧壁/多个侧壁纵向和横向地外延生长,进而掩埋沟槽,并且使该层沿纵向生长。这种情况下,可以防止第一III族氮化物半导体层31中所包含的贯穿位错在经横向外延生长而形成的第二III族氮化物半导体32的上部扩展。结果,在掩埋的沟槽处形成几乎没有贯穿位错的区域。
主权项
权利要求书
1.一种通过外延生长制备III族氮化物半导体的方法,该方法包括如
下步骤:
蚀刻底层,该底层包含至少一层III族氮化物半导体,第一III族氮化
物半导体作为最上层,以形成具有点状、条纹状或栅格状等岛状结构的沟
槽/柱子;及
沿纵向和横向外延生长第二III族氮化物半导体,以柱子的顶面和沟槽
的侧壁/多个侧壁作为外延生长的晶核,该柱子和沟槽是通过蚀刻所述第一
III族氮化物半导体形成的,进而形成点状、条纹状或栅格状等岛状结构。
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