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分 类 号：
H01L21/66
颁 证 日：
优 先 权：
1999.12.21 US 09/468,742
申请(专利权)人：
拉姆研究公司
地 址：
美国加利福尼亚州
发 明 (设计)人：
倪图强;文利·柯林森
国 际 申 请：
CT/US00/34655 2000.12.19
国 际 公 布：
WO01/47009 英 2001.6.28
进入国家日期：
2002.06.21
专利 代理 机构：
北京三友知识产权代理有限公司
代 理 人：
李辉
摘要
一种用来检测光刻胶剥离过程的终点的方法和装置。要剥离光刻胶的晶片被设置在剥离室内。在基本上所有的光刻胶都从晶片上剥离后，O和NO反应形成NO2的速度增加，这就增加了发射光的强度。一个光检测装置检测到光强度的增加，这标志着光刻胶剥离过程的终点。
主权项
权利要求书
1.一种用来检测光刻胶剥离过程的终点的方法，包括以下步骤：
从设置在一个室内的晶片上剥离光刻胶；
检测发射光的强度；以及
利用发出的光的强度的变化来检测光刻胶剥离过程的终点。
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