基于激光器可转换波长的蚀刻电路板加工系统<%=id%>

颁证日：
优先权： 1999.12.7 US 60/253,120
申请(专利权)人：电子科学工业公司
地址：美国俄勒冈州
发明 (设计)人： Y·孙;E·斯温森
国际申请： CT/US00/42580 2000.12.5
国际公布： WO01/41969 英 2001.6.14
进入国家日期： 2002.06.25
专利代理机构：北京纪凯知识产权代理有限公司
代理人：赵蓉民;王刚
摘要
　本发明的可转换波长的激光器(10)是一种基于固态激光源(12)，在固态激光源(12)中，第四谐波UV激光光束(26)通常被用作加工，而第二皆波“绿光”激光光束(26)被沉积并被浪费。然而，本发明使用这个通常被浪费的绿光激光光束来加工ECB(30)导电层(32，36)，因为绿光能量的功率比UV能量的功率高，所以提高了加工生产率。一普克尔盒(16)实现激光光束偏振转换，该偏振转换将绿光光束或UV光束被导向ECB，以加工不同的材料。本发明仅要求单轨激光激光器源，因此，是一个简单、高效、效费比高、内准直且加工生产率高。
主权项
　权利要求书 1、一种在蚀刻电路板(“ECB”)上加工孔的装置，该蚀刻电路板包括至少由一介电层隔开的第一和第二导电层，包括：单轨激光激光器系统，该系统可选择地产生一个绿光波长的光束以及一UV波长的光束，绿光波长的光束穿过第一导电层和部分介电层来加工孔，UV波长光束穿过该介电层的其余部分而完成该孔的加工，且UV波长光束在第二导电层上终止加工。

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