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br>分 类 号：
C23C14/06;C23C14/34;F24J2/50
颁 证 日：
优 先 权：
申请(专利权)人：
北京华瑞能科技发展有限责任公司
地 址：
100081北京市西三环北路11号为公桥商务中心C2座402室
发 明 (设计)人：
叶东钢;何江红;李景
国 际 申 请：
国 际 公 布：
进入国家日期：
专利 代理 机构：
北京市中咨律师事务所
代 理 人：
段承恩
摘要
本发明公开了一种氮化物或氧化物金属陶瓷薄膜及其制造方法和装置，以及包含该金属陶瓷薄膜的耐高温太阳能集热管。所说的金属陶瓷薄膜是一种多层复合薄膜，其中包埋有 或Ti金属及其合金的团簇。该方法包括在基片上通过磁控溅射交替形成金属氮化物或氧化物薄层和 或Ti团簇层，其中所说的金属氮化物或氧化物是在氩气和氮气或氧气存在下通过溅射所说的金属形成的，所说的 或Ti团簇层是在氩气存在下通过溅射 或Ti金属及其合金形成的。
主权项
权利要求书
1.一种氮化物或氧化物金属陶瓷薄膜，其特征在于所说的金属
陶瓷薄膜是一种多层复合薄膜，其中包埋有 或Ti金属及其合金
的团簇。
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