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颁 证 日：
优 先 权：
申请(专利权)人：
旺宏电子股份有限公司
地 址：
台湾省新竹科学工业园区力行路16号
发 明 (设计)人：
林明裕;陈威铭;周宗贤;吴满堂
国 际 申 请：
国 际 公 布：
进入国家日期：
专利 代理 机构：
北京集佳专利商标事务所
代 理 人：
王学强
摘要
一种新版光罩的验证方法，此方法是提供一晶元，将一新版光罩的图案转移于晶元上，以在晶元上形成一第一图案后，再将一旧版光罩的图案转移于晶元上，以在晶元上形成一第二图案，然后，利用光学检验机对比晶元上的第一图案与第二图案，以验证新版光罩的正确性。
主权项
权利要求书
1.一种新版光罩的验证方法，其特征为：该方法包括：
提供一晶元；
将一新版光罩的图案转移于该晶元上，以在该晶元上形成一第一
图案；
将一旧版光罩的图案转移于该晶元上，以于该晶元上形成一第二
图案；以及
对比该第一图案与该第二图案，以验证该新版光罩的正确性。
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