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分 类 号:
01D35/06
颁 证 日:
优 先 权:
申请(专利权)人:
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
地 址:
201203上海市浦东新区张江路18号
发 明 (设计)人:
刘勇
国 际 申 请:
国 际 公 布:
进入国家日期:
专利 代理 机构:
上海新天专利代理有限公司
代 理 人:
马连富
摘要
本发明涉及一种具有磁场及/或电场的杂质过滤器,包含:一弯曲的小直径管道,管道外的磁场及/或电场,管道的内管壁由多孔材料或纤维材料制成,用于吸收液体或气体中的杂质。其中弯曲的小直径管道置于磁场及/或电场中,当液体或气体流经弯曲的小直径管道时,液体或气体中极化的粒子或带电的离子会受磁场及/或电场的作用,撞击弯曲的小直径管道的管壁,从而被多孔材料或纤维材料制成的管壁有效地吸收。
主权项
权利要求书
1、一种具有磁场及/或电场的杂质过滤器,包含:弯曲的小直径管
道、磁场及/或电场和多孔材料或纤维材料,其特征在于置于磁场及/或
电场中的弯曲的小直径管道内壁上有由多孔材料或纤维材料制成的,吸纳
极化粒子或带电离子微粒的内壁。
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