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母盘信息载体/磁记录媒体缺陷检查方法<%=id%> |
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分 类 号:
G01N21/88;G11B23/50
颁 证 日:
优 先 权:
2001.4.25 JP 127677/2001;2001.6.15 JP 181427/2001
申请(专利权)人:
松下电器产业株式会社
地 址:
日本大阪府
发 明 (设计)人:
桥秀幸;浜田泰三;石田达朗
国 际 申 请:
国 际 公 布:
进入国家日期:
专利 代理 机构:
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代 理 人:
吴丽丽
摘要
本发明提供一种母盘信息载体和磁记录媒体缺陷检查方法。代替使用母盘信息载体直接进行缺陷检查,准备了一种检查基片,然后将母盘信息载体与其紧密接触,由此将母盘信息载体上的缺陷转换到检查基片,如此在检查基片上间接检查母盘信息载体的任何缺陷。缺陷检查是在紧密接触之前的第一状态检查基片上进行的,从而在紧密接触之后的第二状态检查基片上的缺陷检查结果与第一状态检查基片上的缺陷检查结果相互比较。
主权项
权利要求书
1.一种用于母盘信息载体的缺陷检查方法,该母盘信息载体具有对
应于要被磁性转换到磁性记录媒体上的信息信号的磁性膜图形,包括步
骤:
检查在第一状态检查基片上可能原始存在的缺陷,母盘信息载体
上的缺陷要被转换到该第一状态检查基片;
将母盘信息载体与已完成缺陷检查的第一状态检查基片紧密接
触,由此将在母盘信息载体上可能存在的缺陷转换到已完成缺陷检查的
检查基片;
检查在缺陷已经转换到其上且其已从母盘信息载体分开的第二状
态检查基片上可能有的任何缺陷;和
将所述第二状态检查基片上的缺陷检查结果与所述第一状态检查
基片上的缺陷检查结果相互比较,由此决定在所述母盘信息载体上可能
存在的缺陷。
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