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    生产管理系统及用于该系统的主机和记录媒体<%=id%>


    颁 证 日:
    优 先 权: 2000.11.16 JP 349139/2000
    申请(专利权)人: 株式会社日矿材料
    地 址: 日本东京都
    发 明 (设计)人: 中岛光一;矢岛则行;绵谷健一
    国 际 申 请: CT/JP01/07937 2001.9.13
    国 际 公 布: WO02/41206 日 2002.5.23
    进入国家日期: 2002.09.10
    专利 代理 机构: 中国专利代理(香港)有限公司
    代 理 人: 杨凯;叶恺东
    摘要
      在靶极制造厂与靶极用户之间构筑利用计算机网络的溅射靶极的生产管理系统,共享底板的历史信息、溅射靶极的生产信息、溅射靶极的使用信息等有关生产管理的各种信息。
    主权项
      权利要求书 1.一种溅射靶极生产管理系统,至少包括经由预定通信线路连 接起来的如下各部分:多个用以定购在通过溅射法在预定对象物上 形成薄膜时使用的溅射靶极的靶极用户侧的通信终端装置,按照靶 极用户的定单生产溅射靶极的靶极制造厂侧的通信终端装置,以及 管理整个系统的主机; 其特征在于: 所述主机包括至少存储如下信息的存储装置:用以识别所述多 个靶极用户的用户识别信息,用以识别各种作为所述溅射靶极的基 底使用的、能够粘贴上预定靶极材料的底板的识别信息;登记了包 含各底板作为溅射靶极使用的次数及当时粘贴的靶极材料的质地、 种类等使用历史的历史信息; 对照所述用户识别信息以判断是否为满足预定条件的用户的用 户识别信息确认装置; 所述靶极用户侧通信终端装置,在根据所述用户识别信息确认 装置确认所述用户是满足预定条件的用户时,使访问所述主机中所 存信息成为可能; 在底板作为溅射靶极被反复再生、加工时,根据所述靶极制造 厂的通信终端装置输入的信息更新补充所述历史信息。
         

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