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布线基片、半导体器件和布线基片的制造方法<%=id%> |
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分 类 号:
H01L23/12;H01L25/065
颁 证 日:
优 先 权:
2000.2.28 JP 52043/2000
申请(专利权)人:
日立化成工业株式会社
地 址:
日本东京都
发 明 (设计)人:
中村英博;榎本哲也;山崎聡夫;河添宏
国 际 申 请:
CT/JP01/01256 2001.2.21
国 际 公 布:
WO01/65602 日 2001.9.7
进入国家日期:
2002.08.28
专利 代理 机构:
北京银龙专利代理有限公司
代 理 人:
熊志诚
摘要
布线基片(1)具有以下部分:具有连接孔(11)的绝缘性基材(10),在连接孔(11)的表面部分上、在未达到里面的范围中配置的埋置导体(12),连接埋置导体(12)的布线层(14)。埋置导体(12)补加布线层(14)的膜厚,可在连接孔(11)的里面侧形成用于构成三维安装结构的定位部(110)。布线层(14)具有膜厚较薄的端子部(14A)和布线部(14B)以及膜厚较厚的电极部(14C),用同一制造工序进行端子部(14A)和布线部(14B)的薄膜化以及埋置导体(12)的倒置。布线基片(1)的电极部(14C)上安装半导体元件(2)。
主权项
权利要求书
1.一种布线基片,其特征在于,包括:
表面导体层;
在该表面导体层的里面,与该表面导体层电连接的多个埋置导体;
具有连接该表面导体层的里面的第一主表面和与该第一主表面相对
的第二主表面、并与上述埋置导体的侧壁连接形成的绝缘性基材。
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