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以晶片级形成堆积管芯集成电路芯片封装件的方法<%=id%> |
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分 类 号:
H01L21/98;H01L25/065
颁 证 日:
优 先 权:
2000.3.9 US 09/521,299
申请(专利权)人:
爱特梅尔股份有限公司
地 址:
美国加利福尼亚州
发 明 (设计)人:
K·M·拉姆
国 际 申 请:
CT/US01/00828 2001.1.10
国 际 公 布:
WO01/67511 英 2001.9.13
进入国家日期:
2002.09.09
专利 代理 机构:
上海专利商标事务所
代 理 人:
钱慰民
摘要
一种晶片级封装方法,该方法生产出堆积的双重/多重管芯集成电路封装件(91)。在该方法中,两块晶片中管芯尺寸较小的晶片可通过金属再分布工艺处理,然后附上焊球。然后该晶片被锯成各个管芯尺寸的球栅阵列封装件。在带较大尺寸管芯(25)的晶片上,在准备与管芯尺寸BGA封装件之一附接的每一管芯晶格位置正面,沉积了管芯附接粘料(18)。BGA管芯封装件背面放在该粘料上固化。引线接合操作把信号从管芯尺寸BGA封装件接到底部管芯电路。把环氧一类的涂料(18)沉积在晶片上以覆盖引线接合导线,然后固化组件。然后,把堆积管芯晶片分成各个堆积管芯IC封装件。
主权项
权利要求书
1.一种以晶片级形成堆积管芯IC芯片封装件的方法,其特征在于,包
括以下步骤:
提供第一与第二半导体晶片,每块晶片包括多个管芯,第二晶片多个管
芯的尺寸比第一晶片多个管芯的尺寸更小,第一与第二晶片的其中每个管芯
在其第一表面上有多个接合片,
把多个互连线附接到第二晶片多个管芯第一表面的多个接合片,
把第二晶片切成多个独立的管芯,
将第二晶片的各个管芯附着于第一晶片,其中把各个管芯的背面放置成
附着于第一晶片的第一表面,在其上形成多个封装件结构,
把各个管芯的多个接合片连接至第一晶片多个管芯的多个接合片,并且
把第一晶片切成多个独立的堆积管芯IC封装件。
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