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分 类 号:
H01L27/02;H01L21/84;G02F1/1362
颁 证 日:
优 先 权:
2001.1.11 GB 0100733.5
申请(专利权)人:
皇家菲利浦电子有限公司
地 址:
荷兰艾恩德霍芬
发 明 (设计)人:
M·J·特赖诺尔;J·R·A·艾雷斯
国 际 申 请:
CT/IB01/02533 2001.12.12
国 际 公 布:
WO02/056380 英 2002.7.18
进入国家日期:
2002.09.10
专利 代理 机构:
中国专利代理(香港)有限公司
代 理 人:
吴立明;罗朋
摘要
一种制作有源矩阵基片(1)的方法,此基片含有有源元件的行和列的列阵(10),其中每个元件(11)与一个薄膜晶体管(13)相关联,而薄膜晶体管的栅极(306)被连接到相应的行导线(15),同时源(320)和漏(321)电极则被连接到相应的列导线(14)上,以及静电放电保护电路(20),它被连接到至少其中的一个行导线上的,以保护薄膜晶体管免受静电放电(ESD)的破坏。本方法包含如下步骤,制作薄膜晶体管(302)和静电放电保护电路(303)的半导体区;淀积薄膜晶体管的栅极(306)和对应的行导线(15);以及淀积薄膜晶体管的源(320)和漏(321)电极和对应的列导线(14),其中在淀积列导线(14)之前,静电放电保护电路(20)对于控制静电放电是起作用的。
主权项
权利要求书
1.一种制作有源矩阵基片的方法,此基片含有有源元件的行和列
的阵列,其中每个元件与一个薄膜晶体管(TFT)相关联,而薄膜晶体
管的栅极被连接到相应的行导线,源和漏电极则被连接到相应的列导
线上;以及静电放电保护电路,它被连接到行导线中的至少一个上,
以保护薄膜晶体管免受静电放电(ESD)的破坏,本方法包含如下步骤:
制作薄膜晶体管和静电放电保护电路的半导体区;
淀积薄膜晶体管的栅极和对应的行导线;以及
淀积薄膜晶体管的源和漏电极和对应的列导线,
其中在淀积列导线之前,静电放电保护电路对于控制静电放电是
起作用的。
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