石英谐振式力传感器及其系列产品<%=id%>

所属分类：	电子微电子	项目来源：	自创
技术持有方姓名：	清华大学精密仪器与机械学系传感器研究室	所在地域：	北京
是否中介：	否	是否重点项目：	否
技术简介：	石英谐振式力传感器是以石英传感器作为敏感元件。石英传感器具有很高的频率稳定性，以及随着外界和内部因素改变而变化具有谐振频率的高度敏感性。本传感器就是利用这一特性进行力的测量，通过对谐振电路频率变化的测量，算出所受到的力。使用接近理想弹性的石英材料作为力敏感元件，具有稳定性好，线性度高，滞后小等优点。由于生产工艺成熟，易实现批量生产，成本低。属于数字式信号仪表，耗电省，易与计算机连接。