多功能扫描探针显微镜<%=id%>

所属分类：	电子微电子	项目来源：	自创
技术持有方姓名：	北京清华大学	所在地域：	北京
是否中介：	否	是否重点项目：	否
技术简介：	清华大学摩擦学国家重点实验室与中国科学院化学研究所合作，于95年5月成功研制出国内第一台兼有原子力显微镜,摩擦力显微镜和扫描隧道显微镜，并利用该仪器在国内纳米(微观)摩擦学研究领域做了大量开拓性工作。横向分辩率<0.3nm；纵向分辩率<0.03nm；最大扫描范围8微米8微米；法向力精度10*(-9)N。