彩管制造用校正透镜加工系统装备与工艺参数的研究<%=id%>

所属分类：	电子微电子	项目来源：	自创
技术持有方姓名：	北京清华大学	所在地域：	北京
是否中介：	否	是否重点项目：	否
技术简介：	彩色显象管生产线中使用的曝光台校正透镜，其型面是复杂的列表点自由曲面，且随不同的彩管型号其校正透镜面差别很大。这种复杂的光学自由曲面的制造比一般的轴对称回转型非球面镜将更加困难。因此，具有复杂光学自由曲面的校正透镜是显象管制造的关键工艺装备部件。面形精度达正负7u表面粗糙度达Ra5nm。