紫外发射增强的氧化锌薄膜的制备方法<%=id%>

所属分类：	激光	项目来源：	自创
技术持有方姓名：	中国科学院上海光学精密机械研究所	所在地域：	上海
是否中介：	否	是否重点项目：	否
技术简介：	该发明专利是一种紫外发射增强的氧化锌薄膜的制备方法。该专利采用的是磁控反应溅射法。其特征是：采用99.999%的金属锌作为阴极靶，在阴极靶材中掺入0.1wt%～5wt%的光谱纯的金属铁。用该专利方法镀制的掺铁后的氧化锌薄膜的紫外带边发射明显增强，而且成本低。采用纯铁作掺杂剂，氩气作为工作气体、氧气作为反应原料。该氧化锌薄膜所需材料来源丰富，价格低廉；极具开发和应用的价值。