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| 所属分类： |
激光 |
项目来源： |
自创 |
| 技术持有方姓名： |
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
所在地域： |
吉林 |
| 是否中介： |
否 |
是否重点项目： |
否 |
技术简介：
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该设备是以Nd:KGW激光器为光源的掩膜微加工技术设备，为国际创新。它可广泛用于微电子器件、介入医疗器械、微机械、微标识、特殊异型孔加工、金刚石等超硬材料加工等高新技术领域。
该项独创的快速掩膜制备技术，可在三分钟内完成掩膜制备。其主要技术指标为：（1）波长1064nm；（2）重复频率≥100Hz；（3）脉宽≤8ns；（4）模式TEM00；（5）峰值功率8000kw；（6）稳定性≤5％；（7）最大加工区域3mm×3mm；（8）最大刻线宽度10μm；（9）微加工精度10μm。
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