飞秒激光单脉冲形成二维纳米尺度周期结构的工作装置<%=id%>

所属分类：	激光	项目来源：	自创
技术持有方姓名：	中国科学院上海光学精密机械研究所	所在地域：	上海
是否中介：	否	是否重点项目：	否
技术简介：	它包括：飞秒激光器；沿飞秒激光器光束前进的方向依次是扩束望远镜、30%反射镜。该30%反射镜的反射光束依次经第三全反射镜。第一透镜、第四全反射镜形成第一参考光束到达样品。该30%反射镜的透射光束依次经第一全反射镜、50%反射镜、第二全反射镜、第二透镜形成物光束照射样品。该50%反射镜的反射光束经第三透镜和第五全反射镜形成第二参考光束到达样品。利用该装置可同时形成多个二维周期微结构。