水浴激光消融和激光加工的方法<%=id%>

所属分类：	激光	项目来源：	自创
技术持有方姓名：	中国科学院上海光学精密机械研究所	所在地域：	上海
是否中介：	否	是否重点项目：	否
技术简介：	该专利是将需要激光消融和激光加工的样品置于盛有水的容器中，然后放置于激光辐照的范围内，进行激光消融或激光加工处理。将样品放置于水浴环境中阻断了其暴露于空气环境中的不利情况。水浴不但能降低样品表面的温度，抑制激光消融飞贱物的产生和再沉积，改善样品表面的光洁度和加工精度，而且对激光等离子体所产生的冲击波起到反向增强的作用，对表面施以压应力，可以改善样品表面的应力分布，从而提高其机械性能。该方法适用于耐水的样品，比如硅片、玻璃等非金属，并且适用于可在水中传播的激光波段。蓝绿激光被水吸收很小，是很好的光源。