阶梯衬底内条形可见光半导体激光器<%=id%>

所属分类：	激光	项目来源：	自创
技术持有方姓名：	吉林大学	所在地域：	黑龙江
是否中介：	否	是否重点项目：	否
技术简介：	阶梯衬底内条形可见半导体激光器是一种新型的双异质结激光器，这种器件结构巧妙，利用非平面衬底液相外延性质，外延前在衬底上腐蚀出倒梯形台阶，电流隔离层和四层双异质结构只用一次外延完成生长。由于倒梯形台阶的肩角处熔体欠饱和而生长不上，使内条形电流通路在液相外延中自然形成。从而省掉了外延后淀积掩模，光刻，扩Zn（或二次外延）等制造条形电极的工艺，使工艺大大简化，缩短了工艺周期，提高了可靠性和寿命。同时这样形成的电流通路很窄（-2μm）, 并和内建波导自对准，因而阈值低，模式和光功率线性好。这种器件结构适合制作0.89-0.76μm波长GaAs材料激光器，可用于中短程光纤通讯、光盘、信息传感计测等信息领域。成果获奖情况：1992年获国家发明三等奖。