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所属分类: |
激光 |
项目来源: |
自创 |
技术持有方姓名: |
中国科学院沈阳科学仪器研制中心 |
所在地域: |
辽宁 |
是否中介: |
否 |
是否重点项目: |
否 |
技术简介: |
该脉冲激光装置由真空室、转靶机构、样品架、加热炉、离子枪和真空抽气装置组成。其中真空室为球形,转靶机构和样品架分别安装在真空室里,相对设置,且在一个中心线上。所述真空室球体上设有多个法兰窗,其中两个法兰窗在激光入射束与转靶机构靶面相交45度角处,于样品架两侧;离子枪安装于转靶机构一侧的真空室球体上,加热炉设在样品架上的两个磁力轴间,真空室底部与真空抽气装置接通。 该装置设计合理、工作方便,效率高、噪声低。 |
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