ArF准分子激光振荡放大系统<%=id%>

所属分类：	激光	项目来源：	自创
技术持有方姓名：	中国科学院安徽光学精密机械研究所	所在地域：	安徽
是否中介：	否	是否重点项目：	否
技术简介：	“ArF准分子激光振荡放大系统”为国内首次研制成功。振荡级和放大级共用一只闸流管作为开关元件，通过主回路的时间延迟匹配，有效地解决两台器件的放电抖动，实现了ArF激光（193nm）的振荡放大。整个系统的技术路线和工艺设计具有创新性和先进性。该系统达到下列主要技术指标：1、激光单脉冲能量：>55mjJ；2、激光输出量不稳定度：<~5%；3、激光脉冲宽度：20ns；4、激光束发散全角：0.08’0.2mrad；5、单次冲气寿命：>10万次脉冲；6、器件工作重频率>3HZ；7、振放系统的放大倍数：~45倍。中心波长193nm的ArF准分子激光振荡放大系统可有效地产生高功率、高能量、高光束质量的脉冲激光辐射。在激光化学、激光生物学、激光光谱、表面物理等领域具有十分广泛的用途。