标准机械接口（SMIF）系统设备的研制<%=id%>

所属分类：	计算机及信息技术	项目来源：	自创
技术持有方姓名：	苏州苏净集团公司	所在地域：	江苏
是否中介：	否	是否重点项目：	否
技术简介：	该成果是“使用隔离技术的亚微米生产微环境系统设备”的重要组成部分。亚微米级集成电路科研和生产必须具备高洁净等级的工艺环境，为减少高洁净等级洁净室的投资，国际上采用一种微环境技术的全新概念。该成果与灵敏跟踪系统（STS）设备结合使用，可以把原来对整个洁净室的要求缩小到只对硅片盒局部环境的要求，提高集成电路成品率，降低集成电路成本。该成果研制开发的设备处于国内领先水平。“十五”期间我国将大力发展集成电路产业，上海市到2010年，总投资600亿美元，将建设40条集成电路生产线。该成果推广应用前景广阔，可替代进口产品，具有十分显著的经济效益和社会效益。