多探头微机膜厚测控装置<%=id%>

所属分类：	计算机硬件与设备	项目来源：	自创
技术持有方姓名：	复旦大学材料科学系	所在地域：	上海
是否中介：	否	是否重点项目：	否
技术简介：	一种使用个人计算机的实时膜厚测控系统。它可在真空镀膜的过程中对膜厚进行实时测量和控制，允许使用多个石英体探头，以适应共蒸发真空镀膜或同时监控多台镀膜系统的需要。WINDOWS界面友好直观，有并口型和插卡型两种，适用于386以上计算机。此外，该系统还有使用方便、工作稳定、成本低的特点。