微位移实时干涉测量仪<%=id%>

所属分类：	仪器仪表	项目来源：	自创
技术持有方姓名：	中国科学院上海光学精密机械研究所	所在地域：	上海
是否中介：	否	是否重点项目：	否
技术简介：	该测量仪包括：带有第一直流电源的光源，在该光源发射光束前进方向上同光轴地依次置有第一透镜、偏振分束器、分束器、参考平板和被测物体。在该分束器的反射光f2方向置有接收元件，其输出送单片机，再接显示器；在该偏振分束器的反射光束f1前进的方向上，依次置有第二透镜和调制光源；该调制光源带有驱动器，该驱动器连接第二直流电源和移相器，该移相器另一端接正弦信号发生器，该正弦信号发生器经控制器接单片机。该光源和调制光源发出的光束是偏振面相互垂直的偏振光。该微位移实时干涉测量仪的优点是：能高精度地实时完成信号的采集、处理和显示，而且操作简便、测量数据可靠。