检测表面形状的点衍射干涉仪<%=id%>

所属分类：	仪器仪表	项目来源：	自创
技术持有方姓名：	中国科学院上海光学精密机械研究所	所在地域：	上海
是否中介：	否	是否重点项目：	否
技术简介：	该点衍射干涉仪包括：光学部分、数据采集、处理和控制部分。光学部分包含激光器等，沿激光束前进方向的光轴上，依次设有会聚透镜，镀有超分辨膜的固体浸润透镜，在光轴的上方放置待测器件，下方设有成像透镜；数据采集、处理和控制部分包含CCD摄像机、计算机和位移控制器。该实用新型专利技术的关键是通过采用固体浸润透镜和超分辨掩膜的技术，获得了一个更小的小孔作为点衍射干涉仪的理想球面波的光源。该小孔不仅位置和大小均可调，而且光透过率高，对入射光束的质量要求较低。该点衍射干涉仪是一种测量精度高、易于装配和调整的检测器件表面形状的装置。