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    高精度双F-P角位移测量仪<%=id%>


    所属分类: 测量测试 项目来源: 自创
    技术持有方姓名: 中国科学院上海光学精密机械研究所 所在地域: 上海
    是否中介: 否  是否重点项目: 否 
    技术简介:
    该装置包括:带有驱动电源的调制光源;沿着调制光源发出的光束的前进方向上旋转着准直物镜和反射镜;在反射镜的反射光束前进方向上旋转被测转动镜面;被测转动镜面反射光方向上放置一分束镜;分束镜的端口b出射光束方向上依次放置第一F-P干涉仪、第一透镜和第一光电转换元件,第一光电转换元件经第一模数转换器与计算机相连;分束镜端口c出射光束方向依次放置第二F-P干涉仪、第二透镜和第二光电转换元件,第二光电转换元件经第二模数转换器与计算机的相连;分束镜端口d旋转第三光电转换元件并经图像采集卡与计算机相连。
    该测量仪的测量分辨率达到了纳弧度量级。
         

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