测量透明平板表面形貌的相位共轭干涉仪<%=id%>

所属分类：	测量测试	项目来源：	自创
技术持有方姓名：	中国科学院上海光学精密机械研究所	所在地域：	上海
是否中介：	否	是否重点项目：	否
技术简介：	该专利是一种测量透明平板表面形貌的相位共轭干涉仪。该相痊共轭干涉仪包括产生干涉光束的物光和参考光。物光由激光光源发射的激光束，经第三透镜和第二透镜的平行光束射到待测透明平板上，而后反射回的光束经第二透镜和第一分束器的反射，再透过第四透镜、第二分束器、第三分束器、第五透镜至光折变晶体，最后由光折变晶体返回再经第五透镜至第三分束器与物光相遇产生干涉。与在先技术相比，该发明专利在物光的光路上置有光折变晶体产生共轭光，使得测量灵敏度提高了一倍。