变角式双反射镜动态液膜厚度测定仪<%=id%>

所属分类：	测量测试	项目来源：	自创
技术持有方姓名：	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	所在地域：	吉林
是否中介：	否	是否重点项目：	否
技术简介：	该发明专利是一种变角式双反射镜动态液膜厚度测定仪，属于光学冷加工技术领域。该发明专利要解决的技术问题是：如何使液膜厚度的变化，转变为下反射镜相对于上反射镜转动的角度变化。该发明专利提出的技术解决方案是：在变角式双反射镜中，采用轻质滑座托起顶杆支撑带有光滑转轴的下反射镜绕转轴转动的结构，通过反射面相对安装的变角式双射镜多次反射射出的激光束，由毛玻璃接收显示。该装置由抛光系统和测量系统组成，测量系统安装在抛光系统中被抛光件运动方向的后面。该装置可以实时动态测量液膜厚度，及时调节液膜厚度，改善超光滑表面抛光条件，提高工作效率，保证抛光质量。