硅片及硅外延片表面缺陷魔镜检测仪<%=id%>

所属分类：	测量测试	项目来源：	自创
技术持有方姓名：		所在地域：	天津
是否中介：	否	是否重点项目：	否
技术简介：	该检测仪的主要功能是直接在监视器屏幕上显示各类半导体样品表面结构缺陷的图样。用该检测仪可检测出硅片及硅外延片表面存在的20余种表面缺陷，如：管道、漩涡花纹、滑移线、星形结构、杂质条纹、凸起物、水波纹、桔皮、云雾、刀痕、划道等图样，因此可即刻显现出硅抛光片及硅外延片表面的质量，也可用于检测光盘质量的优劣。该检测仪是科技人员根据我国西汉时期古老发明—魔镜的原理，结合现代激光相关技术研制成功的一种国内首创的新型检测仪器。可广泛应用于半导体材料及器件的生产线、实验室和研究室，也可用于买卖双方当场认证商品质量时的在线检测。经国内有关权威专家鉴定，该仪器已具有国际领先水平，填补了国内半导体表面缺陷光学无损检测的空白，具有很强的实用性和推广价值。生产成本1万元左右。凡生产电子或光学仪器的技术部门均可接产。