微机械硅倾角传感器<%=id%>

所属分类：	控制调节	项目来源：	自创
技术持有方姓名：	中科院合肥智能所	所在地域：	安徽
是否中介：	否	是否重点项目：	否
技术简介：	本项目得到安徽省自然科学基金资助，它采用硅微机械加工技术研制一种应变式硅微型倾角传感器。该传感器敏感单元的结构尺寸为5mm×3mm，能检测0.1（的倾角变化，量程可达0-180），结构简单，易于加工。目前我们已经完成了理论分析，并采用Ansys有限元分析软件进行了仿真验证，现正在进行版图设计，不久将进行制版并通过工艺流水加工出实验样品。该传感器研制成功后，可广泛应用于需要进行角度测量的各种军事及民用领域。在进一步的经费资助下，我们将致力于提高传感器的精度和灵敏度，进一步完善器件性能，并提高成品率。