多晶硅高温压力传感器<%=id%>

所属分类：	控制调节	项目来源：	自创
技术持有方姓名：	天津大学	所在地域：	天津
是否中介：	否	是否重点项目：	否
技术简介：	多晶硅高温压力传感器是国家“八五”和“九五”重点科技攻关课题。在“八五”期间完成了传感器的芯片工艺，实现了传感器的非隔离封装。当时的样品曾被有关部门试用，反应强烈。在“九五”攻关中，主要针对传感器的工程化生产工艺基础进行了研究。对传感器的设计和工艺进行了优化，进一步提高了传感器的指标，也对传感器的全固态隔离封装进行了探索。为扩大传感器的应用范围，提高传感器的测试精度可靠性打下了基础。该传感器的特点是工作温度高，最高工作温度达到200℃，比扩散硅压力传感器提高了约100℃。可以广泛应用于石油，化工，冶金，锅炉等较高温度环境下的压力测试。随着环保要求的提高，汽车行业所需压力传感器越来越多。该传感器也可应用于汽车工业，主要用于对内燃机油路压力，汽缸压力等的检测和控制。具有广阔的应用前景。