非接触式表面形貌检测装置<%=id%>

所属分类：	测量测试	项目来源：	自创
技术持有方姓名：	哈尔滨工业大学科技处	所在地域：	黑龙江
是否中介：	否	是否重点项目：	否
技术简介：	本成果用于亚微米超精加工中的质量检测，主要测量参数包括粗糙度、直线度、平面度和三维形貌等。该研究的创新点主要有：1、采用双频激光分离光点赵外差干涉原理所研制的超精密激光测头，通过相位细分保证0.5纳米的分辨力和高的稳定性，通过共模抑制作用使轮廓高度原测量精度达到±2nm。采用分离光点的探测方式，使该仪器除了可以测量表面的微观不平度之外，还可以测量微小台阶、直线度和平面度等参数。所研制的“表面微观形貌超精激光测头”已经获得国家专利。2、在机械系中，所研制的双向气浮工作台，采用花岗石静压气浮导轨和共基面结构设计，其直线度达到0.05，实现了大范围内进行测量。所研制的“共基面二维超精密工作台”已经获得国家专利。3、在电路系统中，所研制的用于纳米级标定的电子量规计系统，在相位细分过程中，通过精密数字模块与计算机信真技术相结合，具有自校正能力。该项技术正在申请国家专利。应用领域：亚微米及纳米加工的检测、电子工业、化学工业、光学工业中表面微词形貌的检测。