双频双坐标激光测量系统<%=id%>

所属分类：	测量测试	项目来源：	其他
技术持有方姓名：	大专院校	所在地域：
是否中介：	否	是否重点项目：	否
技术简介：	双频双坐标激光测量系统是为亚微米超精密机床测控系统研制的，测量系统全部采用国产元件，系统组成包括由双步激光器、光学元件、光电接收器组成的一次信号处理系统；数据采集及处理的专用微机系统；用于修正波长变化的空气参数补偿系统和GPIB数据通讯并行接口等部分。该在线测量系统可随时测量主轴的Z向位移和刀架Y向位移，输出可直接读出Z、Y向的位移值，也可反馈给机床的精密数控系统，组成双标闭环精密数控系统，该测量系统中有空气参数补偿系统可以减少温度、湿度、气压的测量误差，提高测量粗度；该测量系统可以在较高的速度（300mm/s）下进行测量，能满足机床运动测量的要求，该系统经与HP5528比对，双向测量差值均≤0.7μm/200mm ，测量稳定性在2小时内≤0.7μm，如采用质量较高的进口的激光头，测量精度还可提高。该测量系统的测量精度和美国HP公司的同类产品相当。经济效益和社会效益：新研制的双频双坐激光测量系统成本核算约合100万元RMB；TSK（日本东京精密）公司生产的测量系统约合40万元RMB，技术水平：该系统是国内首先研制成功的动静态双坐标激光测量系统，填补了国内空白，其性能达到国内领先水平。应用领域：该测量系统虽是为亚微米超精密机床研制，但又是一套通用的多路精密位移测量系统，可用于其它精密位移工作台或三坐标测量机等。技术转让：双频双坐标激光测量系统中的数据采集及处理系统、用于修正波长变化的空气参数补偿系统和数据通讯系统的应用硬件及软件。

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