硅片及硅外延片表面缺陷魔镜检测仪<%=id%>

所属分类：	仪器仪表	项目来源：	自创
技术持有方姓名：	南开大学科技处	所在地域：	天津
是否中介：	否	是否重点项目：	否
技术简介：	该检测仪的主要功能是直接在监视器屏幕上显示各类半导体样品表面结构缺陷的图样。用该检测仪可检测出硅片及硅外延片表面存在的二十余种表面缺陷，如：管道，漩锅花纹，滑移线，星形结构，杂质条纹，凸起物，水波纹，桔皮，云雾，刀痕，划道等图样，因此可即刻显现出硅抛光片及硅外延片表面的质量，也可用于检测光盘质量的优劣。