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| 所属分类： |
仪器仪表 |
项目来源： |
自创 |
| 技术持有方姓名： |
北京清华大学 |
所在地域： |
北京 |
| 是否中介： |
否 |
是否重点项目： |
否 |
技术简介：
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非接触纳米表面形貌测量仪用光外差显微干涉测量原理，利用光学探针来扫描被测试件表面，具有超高精度、非接触、无损伤、宽量程等显著特点。可用于超高精度表面的表面参数的测试与分析测量工作台:台面尺寸:190*190MM；测量范围:20MM(可根据用户要求设计)；最小步距:0.2微米。触针类型:非接触光探针，针尖半径<1微米。检测参数:表面粗糙度(GB1031-83):Ra=0.005-0.3微米。表面波纹度:Wa=0.01-0.3微米；微细加工的台阶，膜厚:0.005-3微米。 |
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