多晶硅高温压力传感器<%=id%>

所属分类：	仪器仪表	项目来源：	攻关（重点）计划
技术持有方姓名：	天津大学	所在地域：	天津
是否中介：	否	是否重点项目：	否
技术简介：	项目内容：多晶硅高温压力传感器，采用集成电路工艺看做，多晶硅做应变电阴，二氧化硅介质膜为介质隔离，具有体积小，灵敏度高精度高等特点，国家“八五”重点攻关项目。技术指标：压力量和：0一1MPa; 0g一2.5MPa; 0一6.0MPa ; 潢量输出>=30mv;精度<=0.5%;最高工作温度：200C 应用领域：用于液体和气体系统压力的测量和检控，如汽车发动机压力，石油液位，气压制动系统的压力检测。成熟程度说明：已试制出样品，达到产品化的要求，可以进行指生产。鉴定水平说明：主要技术参数指标达到国际先进水平。效益分析：每支传感器的成本300元，市场售价500-800元，如制成压力变送器经济效益能增加一倍。设备投资说明：以硅平面工艺设备为主，另加封装和测试设备。