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| 所属分类： |
仪器仪表 |
项目来源： |
自创 |
| 技术持有方姓名： |
北京清华大学 |
所在地域： |
北京 |
| 是否中介： |
否 |
是否重点项目： |
否 |
技术简介：
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本仪器稳定地实现了薄膜润滑状态；在系统配置上，通过光路合理化设计，提高了光源的均匀性，获得了高清晰的单色干涉图象及高分辨率；通过金属光学特性处理，消除了金属特性对测量精度的影响；在软件编制上，实现了干涉图象的显示、数据采集及处理、膜厚计算、绘图、存储及监测等过程一体化。线速度:0.001-2m/s； 载荷范围:小于等于50N；最小膜厚分辨率:<0.5nm；水平方向分辨率:<1.5微米；膜厚测量范围:0-150nm； 单曲线上的时间差:<0.1ms；跟踪测量时间:<20s； 膜厚测量精密度：σ小于等于5nm；钢球直径:20mm-30mm。 |
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