多波长相移干涉技术研究<%=id%>

所属分类：	新型材料	项目来源：	自创
技术持有方姓名：	上海大学机自学院	所在地域：	上海
是否中介：	否	是否重点项目：	否
技术简介：	该项目为上海市青年科技启明星计划。多波长“数字光学轮廓仪”是集光学、机械、电子、计算机于一体的典型高科技产品，运用国际先进的相移干涉术，创新地采用了高精度多波长相移误差不灵敏新算法、快捷和可靠的相位调解新算法、相移器高精度在线控制和定标等技术，扩展了单波长相移干涉术的测量范围，达到了以下测量指标：可测表面粗糙度范围：Ra=0.5纳米-100纳米；测量重复性：表面粗糙度Ra标准方差优于0.1纳米；单台阶测量精度：优于1％；测量重复性标准方差(十次测量)优于0.9nm；最大可测台阶和孔深：大于1800纳米。达到了九十年代初的国际先进水平。该成果可为高精度相移干涉术在国内精密机械、光学仪器、光电子器件等领域的应用提供理论和技术基础，填补相应的空白，并就其廉价之优势足可参与国际市场的竞争，这对于振兴民族仪器仪表工业、加速科技成果产业化、替代进口并赶超国际先进水平，具有重要意义。