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| 所属分类： |
新型材料 |
项目来源： |
自创 |
| 技术持有方姓名： |
西安交通大学 |
所在地域： |
陕西 |
| 是否中介： |
否 |
是否重点项目： |
否 |
技术简介：
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研究基于SIMOX技术的耐高温压力传感器，达到目标为工作温度200 ℃ 一40O ℃ ，抗1000 ℃ 高温冲击，量谈程从1 MPa-100 MPa 。非线性土0.5 % Fs 。固有频率20Hz 一150Hz 。主要研究内容：带有导电通道的选择性氧离子注入SIMOX 技术的SOI硅片制作，抗瞬时超高温和长期高温冲击的总体结构设计与优化；长期工作稳定性研究等。产品达到同类产品的先进水平。填补国内在此领域的空白，并使研究成果产业化，商业化。 |
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